Вольфрам-титановий сплав – це матеріал, сплавлений із перехідних металів вольфраму та титану. Він має ще вищу щільність і чистоту, кращу стійкість до корозії та нижче розширення об’єму, що ефективно зменшує утворення частинок під час виробництва, що робить виготовлення якісних тонких плівок успішним.
Мішені з вольфрамового-титанового сплаву виготовляються за технологією порошкової металургії та широко використовуються в напівпровідниках і тон{1}}плівкових сонячних елементах. У напівпровідниках тонкі плівки 10 мас.% WTi служать дифузійними бар’єрами та адгезійними шарами для відділення металізованих шарів від напівпровідників, наприклад, для відділення алюмінію від кремнію або міді від кремнію. Це значно покращує функціональність напівпровідників у мікросхемах. У тонкоплівкових- сонячних елементах плівки з 10 мас.% WTi також служать бар’єрним шаром, який запобігає дифузії атомів заліза зі сталевої підкладки в молібденовий зворотний контакт і напівпровідники CIGS. Мішені з вольфрамового-титанового сплаву також використовуються в світлодіодах і покриттях інструментів.
Основною причиною вибору мішеней із вольфрамового-титанового сплаву як дифузійних бар’єрів і зв’язувальних шарів у нових напівпровідникових мікросхемах є чудове зчеплення поверхні та розсіювання тепла сплаву, що забезпечує вищу загальну продуктивність.
Метод підготовки вольфрамової-титанової мішені
1. Візьміть певну кількість порошку вольфраму та порошку титану та рівномірно змішайте їх в інертній атмосфері.
2. Використовуйте механічний прес або холодний ізостатичний прес, щоб запресувати отриману суміш у заготовку.
3. Отриману заготовку помістіть у вакуумну піч для спікання для ущільнення та спікання.
4. Після охолодження вольфрам-титанового матеріалу, спеченого на етапі 3, розплавте його в не-витратній вакуумно-дуговій печі, щоб отримати продукт.
Переваги вольфрамової-титанової мішені
1. Простий процес виробництва та проста експлуатація.
2. Використання суміші вольфрам-титанового порошку з подальшим пресуванням, спіканням і дуговим плавленням, цей процес ефективно вирішує проблеми низької ефективності, однорідності матеріалу та вмісту домішок традиційного приготування вольфрам-титанового сплаву.
Our factory can produce WTi 90/10wt% and WTi 85/15wt% targets, and can also customize targets with special compositions. The actual target density is >99% і середній розмір зерна<100μm. With purity up to 4N5 and special annealing treatment, uniform grain size and low gas content, end users can obtain constant etching rates as well as high-purity and uniform thin film coatings during the PVD process.
