Компоненти з важких сплавів вольфраму (WHA) для іонної імплантації
Як правило, вольфрам і молібден є ключовими матеріалами для компонентів, що використовуються в системах іонної імплантації, особливо на шляху променя. Ці матеріали вибрано за їх здатність витримувати суворі умови іонної імплантації, включаючи високі температури, сильні магнітні поля та агресивні технологічні гази.
Чому вольфрам і молібден?
Високі точки плавлення:
І вольфрам, і молібден мають дуже високі точки плавлення, що дозволяє їм витримувати екстремальні температури, що виникають під час іонної імплантації.
Стійкість до корозії:
Вони демонструють чудову стійкість до корозії, що є життєво важливим під час впливу реактивних газів і побічних продуктів процесу іонної імплантації.
Висока міцність і теплопровідність:
Ці властивості необхідні для збереження структурної цілісності компонентів і ефективного розсіювання тепла під час роботи.
Висока чистота:
Матеріали високої чистоти зводять до мінімуму забруднення іонного променя та імплантованого матеріалу.
Типові компоненти іонної імплантації, виготовлені з вольфраму та молібдену:
Палати:
Вакуумні камери, в яких розміщено джерело іонів і цільова область, часто виготовляються з вольфраму, молібдену або їх сплавів.
нитки:
У джерелах іонів нитки з вольфраму або вольфрамових сплавів використовуються для створення плазми, з якої витягуються іони.
Дугові щілини:
Ці компоненти допомагають формувати та направляти іонний промінь і часто виготовляються з вольфраму або молібдену.
Тримачі та катоди:
З цих тугоплавких металів виготовляють різні тримачі та катоди всередині джерела іонів і шляху променя.
Запчастини:
Компоненти з вольфраму та молібдену також використовуються для різних запасних частин і заміни в імплантаторі.
Компоненти Beamline:
Компоненти в межах лінії променя, такі як обмежувачі променя та отвори, також можуть бути виготовлені з вольфраму або молібдену.
Приклади компаній, що надають компоненти для іонної імплантації:
Однак вольфрамові важкі сплави (WHA), зокрема композиції W-Ni-Fe та W-Ni-Cu, широко використовуються в системах іонної імплантації завдяки їхній винятковій щільності, властивостям захисту від радіації та термічній стабільності. Ці сплави ідеально підходять для компонентів, які потребують великої маси, довговічності та стійкості до іонного бомбардування.
Ключові властивості для застосувань іонної імплантації
✔ Висока щільність (17-18,5 г/см³) – ефективний для блокування розсіювання іонів і покращення контролю променя.
✔ Відмінний захист від радіації – мінімізує рентгенівське випромінювання та вторинне випромінювання електронів.
✔ Висока температура плавлення та термічна стабільність – витримує бомбардування-іонами високої енергії без деформації.
✔ Гарна оброблюваність – можна точно-обробити складні форми (порівняно з чистим вольфрамом).
✔ Низьке виділення газів – критично важливе для підтримки умов високого вакууму в іонних імплантаторах.
Загальні компоненти WHA в іонній імплантації
Обмежувачі пучка та отвори – контролює та формує іонні пучки.
Чашки Фарадея – точно вимірює струм іонного пучка.
Екрануючі блоки та коліматори – зменшують небажане розсіювання іонів.
Компоненти обробки пластин – міцні деталі для обробки напівпровідників.
Компоненти ізолятора – там, де це необхідно, висока діелектрична міцність.
Чому варто вибрати WHA замість чистого вольфраму?
Краща оброблюваність (завдяки сполучній фазі Ni/Fe/Cu).
Вища в'язкість до руйнування (менш крихка, ніж чистий W).
Економічно- для складних геометрій.
Доступні оцінки та налаштування
Стандартні марки: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Нестандартні композиції та розміри (стрижні, пластини, оброблені деталі)
Оздоблення поверхні: відполірована, шліфована або покрита для покращення продуктивності.
Якщо є потенційні запитання, зв’яжіться з нами: info@yitechtrading.com