Мішень зі сплаву нікель-кобальт-ванадій виготовляється шляхом плавлення та обробки нікелю (Ni), кобальту (Co) і ванадію (V) у певних пропорціях у формі шестикутних або круглих пластин. Це основний «джерельний» матеріал у технології PVD (фізичного осадження з парової фази). У вакуумному середовищі, використовуючи один із багатьох методів, таких як магнетронне розпилення або електродугове покриття, частинки високої -енергії бомбардують його, спричиняючи осідання атомів або молекул цільового матеріалу на поверхню робочої підкладки (якою можуть бути кремнієві пластини, скло або метал). у вигляді тонкої плівки, тим самим покриваючи підкладку спеціальним функціональним покриттям.
Процес підготовки мішеней для напилення з нікель-кобальту-ванадієвого сплаву
Підготовка сировини: листи електролітичного нікелю, кобальту та ванадію з чистотою більше або рівною 99,95% відбираються та зважують відповідно до розробленого складу (наприклад, Ni-20Co-5V), і ризику забруднення уникають.
Вакуумне плавлення: VIM (вакуумне індукційне плавлення) — типовий процес для забезпечення рівномірного розчинення компонентів і однорідного складу отриманих зливків. Для подальшої однорідності розмірів і зменшення сегрегації можна застосувати вакуумно-дуговий переплав (VAR) протягом кількох циклів переплавлення.
Гаряче кування/гаряча прокатка: після гомогенізаційного відпалу злитки проходять кілька циклів гарячого кування та гарячого витягування або гарячої прокатки в заготовки матеріалу для покращення мікроструктури та руйнування грубих зерен.
Термічна обробка: після кування/прокатки матеріал проходить додаткову стадію обробки, на якій виконується рекристалізаційний відпал для зняття напруги обробки та покращення мікроструктури до цільового розміру зерна менше ніж або дорівнює 100 мкм.
Точна обробка та склеювання: матеріал обточується та доводиться до потрібного розміру шляхом шліфування.
Застосування мішеней для розпилення нікель-кобальту-ванадієвого сплаву
Функціональні захисні покриття: за допомогою цих покриттів можна створити над-тверді,-зносостійкі та -температурні покриття. Термін служби та надійність компонентів авіаційних двигунів, турбінних лопаток, високоякісних-різальних інструментів, а також поверхонь прес-форм значно покращуються завдяки застосуванню цих покриттів.
Сфера мікроелектроніки та напівпровідників: ці покриття використовуються як дифузійний бар’єрний шар або адгезійний шар. У виробництві інтегральних схем вони використовуються в процесах формування з’єднань, щоб обмежити дифузію міді в кремнієві або діелектричні шари та міцніше утримувати мідь на базових матеріалах. Основними перевагами цих покриттів є висока стабільність і низький питомий опір.
Промисловість прецизійної оптики та дисплеїв: можна виготовляти покриття з високою-щільністю та стабільність, а також тонкі плівки, що захисні від електромагнітного впливу.
Промисловість зберігання даних: у виробництві жорстких дисків його можна використовувати для підготовки певних функціональних шарів магнітних головок або дисків, використовуючи його хороші магнітні властивості та стійкість до зношування.
Зносостійкі-та корозійно-компоненти: тонкі плівки зі сплаву Ni-Co-V наносяться на поверхні точних машин, найважливіших автомобільних компонентів і хімічного обладнання для покращення твердості поверхні, зменшення коефіцієнта тертя та підвищення стійкості до корозії.
