Мішені з нікель-ніобієвого сплаву – це мішені для розпилення, виготовлені шляхом плавлення нікелю (Ni) і ніобію (Nb) як основних елементів у певній пропорції. Вони в основному використовуються в процесах фізичного осадження з парової фази (PVD), особливо магнетронного розпилення, для отримання функціональних тонких плівок на різних підкладках.
Метод підготовки мішеней із нікель-ніобієвого сплаву
1. Підготовка сировини: виберіть як сировину порошки нікелю та ніобію високої{1}}чистоти, переконавшись, що їх чистота відповідає вимогам цільової підготовки. Наприклад, чистота порошків нікелю та ніобію може досягати понад 99,9%.
2. Змішування порошків: точно зважте порошки нікелю та ніобію відповідно до розробленого співвідношення складу сплаву та ретельно перемішайте їх у змішувальному пристрої. Щоб забезпечити рівномірне змішування, можна використовувати кульовий млин, контролюючи відповідний час подрібнення та співвідношення кульки-до-матеріалу.
3. Пресування: рівномірно змішані порошки поміщають у прес-форму та пресують за допомогою холодного ізостатичного пресування (CIP) або гарячого ізостатичного пресування (HIP), щоб отримати цільову заготовку з певною щільністю та міцністю. Холодне ізостатичне пресування (CIP) дозволяє початкове пресування порошку при відносно низькому тиску, тоді як HIP додатково збільшує щільність цільової заготовки при високій температурі та високому тиску.
4. Спікання: пресована заготовка мішені спікається у вакуумній печі, щоб усунути пори між частинками порошку та покращити щільність і продуктивність мішені. Температура та час спікання є ключовими параметрами. Температура спікання зазвичай коливається від 1000 градусів до 1500 градусів, а час спікання коливається від кількох годин до кількох десятків годин. Оптимізація залежить від складу та розміру цілі.
5. Механічна обробка: після спікання мішень потребує механічної обробки, такої як токарна обробка та шліфування, для досягнення бажаних розмірів і якості поверхні.
Застосування мішеней зі сплавів нікелю-нібію
Напівпровідник: їх можна використовувати для напилення для створення бар’єрних шарів, електродів і з’єднань. Тонкі плівки зі сплаву нікель-нібій ефективно запобігають дифузії атомів металу, підвищуючи продуктивність і надійність напівпровідникових пристроїв, і мають вирішальне значення для виробництва інтегральних схем.
Технологія відображення. У пласких-дисплеях, таких як OLED та рідкокристалічні дисплеї, мішені з нікель-нібієвого сплаву можна використовувати для формування електродів або відбиваючих шарів, допомагаючи покращити яскравість екрана, швидкість відгуку та стабільність кольору.
Оптичні покриття: їх можна використовувати для створення різних оптичних покриттів, наприклад плівок, що відбивають інфрачервоне випромінювання, і плівок,-стійких до пошкодження лазером, для застосування в точних оптичних пристроях, лазерних системах і оптичних приладах, щоб відповідати різноманітним вимогам до оптичних характеристик.
Зносостійке-і корозійно-стійке покриття: завдяки їхній чудовій стійкості до зносу та корозії мішені зі сплаву нікелю{-нібію можна використовувати для формування- та корозійностійкої-тонкої плівки на механічних частинах і поверхнях інструментів, збільшуючи термін служби та продуктивність компонентів. Вони мають широкі перспективи застосування в таких галузях, як аерокосмічна промисловість, автомобілебудування та машинобудування.
