Мішені з нікель-марганцевого сплаву (найчастіше сплав NiMn із співвідношенням нікель-марганець 50:50 ат.%) є основною сировиною для виготовлення функціональних тонких плівок, таких як магнітні багатошарові плівки та пристрої спінтроніки. Процес їх виготовлення вимагає високої чистоти, високої щільності, однорідного складу та непорушеної структури.
Метод приготування мішеней із сплаву нікелю-марганцю
Підготовка вихідних матеріалів: виберіть порошки нікелю та марганцю найвищої чистоти (зазвичай 99,9% або більше) і розподіліть їх відповідно до розробленого складу цільового матеріалу, який потрібно створити (наприклад, Ni-Mn 1:1, Ni-Mn 3:1 тощо).
Процедура формування: після змішування порошків помістіть їх у форму та виконайте холодне ізостатичне пресування (CIP), щоб застосувати високий тиск від 100 до 300 МПа. Таке ущільнення порошку перетворює його на «зелену заготовку» необхідної міцності та щільності, яка становить 60-80 відсотків від теоретичної щільності.
Спікання: наступний крок передбачає розміщення заготовки в печі, захищеній інертним газом (наприклад, аргоном) під час вакуумного спікання, і піддавання її високим температурам від 800 до 1100 градусів за Цельсієм протягом кількох годин.
Обробка: це передбачає подальшу роботу над спеченою заготовкою, включаючи різання, шліфування та полірування. Це робиться для того, щоб цільовий матеріал, який буде виготовлено, відповідав зазначеним вимогам до розмірів.
Застосування мішеней із сплаву нікелю-марганцю
Електроніка та інформаційна промисловість: використовується для металевих з’єднувальних шарів і контактних шарів у виробництві напівпровідників, а також для підготовки провідних або резистивних тонких плівок у тонкоплівкових-резисторах і TFT-LCD, OLED та інших пристроях відображення в індустрії плоских дисплеїв.
Оптика: може бути використана для отримання оптичних тонких плівок з високою стабільністю та провідністю, які застосовуються в оптичних пристроях, оптичних комунікаціях та інших галузях.
Покриття скла: використовується для підготовки покриття на автомобільному склі, архітектурному склі тощо, покращуючи провідність, стійкість до корозії та інші властивості скла.
Декоративні та захисні покриття: використовуються на поверхнях оправ для окулярів, годинників, апаратних частин тощо, забезпечуючи покриття спеціальними кольорами (наприклад, чорний нікель), зносостійкість та стійкість до корозії.
