За формою мішені для розпилення можна розділити на плоскі мішені та мішені, що обертаються. Площинні мішені — це довгі мішені, квадратні мішені або круглі мішені певної товщини тощо, які виготовляються шляхом зв’язування заготовки мішені та підкладки. Під час напилення заготовка мішені та підкладка розташовані паралельно один одному, а між заготовкою мішені та підкладкою утворюється електромагнітне поле. Мішені, що обертаються, — це трубчасті мішені, і під час розпилення на підкладку утворюється електромагнітне поле. Планарні мішені більш універсальні, але мають нижчий коефіцієнт використання; обертові мішені мають більш високий коефіцієнт використання, але погану однорідність покриття.
Переваги обертових мішеней
1. Обертові мішені мають більший коефіцієнт використання матеріалу
Обертові мішені можуть рівномірно споживати поверхню мішені під час обертання, тим самим покращуючи використання матеріалу мішені, яке зазвичай може досягати 70%-90%. Однак, оскільки лише одна фіксована сторона плоскої мішені бере участь у напиленні, під час використання будуть утворюватися «канавки» або «ямки», що призведе до нерівномірного споживання матеріалу, а коефіцієнт використання матеріалу, як правило, становить 30%-40%. Для дорогих мішеней (таких як дорогоцінні метали або рідкоземельні матеріали) обертові мішені можуть значно зменшити витрати та підвищити економічні вигоди.
2. Обертові мішені мають кращу рівномірність розпилення
Мішені, що обертаються, безперервно обертаються під час роботи, так що кожна позиція на поверхні мішені рівномірно піддається впливу плазми, утворюючи більш рівномірну швидкість розпилення. Це має очевидні переваги для застосувань із високими вимогами до однорідності плівки (таких як дисплеї та напівпровідникові процеси). Планарні мішені схильні до нерівномірної товщини плівки через локальне надмірне-напилення, особливо на підкладках-великої площі або безперервному виробництві.
3. Обертові мішені мають довший термін служби
Оскільки обертові мішені споживають більше однорідного матеріалу, їх термін служби зазвичай довший, ніж у плоских мішеней. Це означає, що за однакових умов роботи частота заміни обертової мішені менша, що зменшує простої обладнання та підвищує ефективність виробництва. Для деяких безперервних виробничих процесів, таких як покриття великої-площі та покриття-на-рулон, обертова мішень може значно подовжити виробничий цикл і зменшити витрати на обслуговування.
4. Обертові мішені мають вищу якість плівки
Шар плівки, напилений мішенню, що обертається, щільніший і однорідніший, що підходить для деяких застосувань із надзвичайно високими вимогами до якості плівки (таких як-виробництво електронних пристроїв високого класу та напівпровідникових пристроїв). Це пояснюється тим, що обертова мішень може ефективно зменшити дефекти, викликані нерівномірним напиленням на поверхні мішені, і покращити якість і консистенцію шару плівки.
Висновок
Порівняно з плоскими мішенями обертові мішені мають більший рівень використання матеріалу, довший термін служби, рівномірніший ефект розпилення та адаптованість до великої-площі та великого-обсягу виробництва. Це робить обертові мішені важливим вибором у сфері сучасного осадження тонких плівок, особливо у-нанесенні покриттів на велику площу, безперервному виробництві та-виробництві високоякісних електронних пристроїв.